Oksalil fluorida

Oksalil fluorida
Rumus struktur oksalil fluorida
Rumus struktur oksalil fluorida
Model bola-dan-tongkat oksalil fluorida
Model bola-dan-tongkat oksalil fluorida
Nama
Nama IUPAC (preferensi)
Oksalil difluorida
Nama lain
TL-108
Penanda
Model 3D (JSmol)
ChemSpider
Nomor EC
Nomor RTECS {{{value}}}
UNII
  • InChI=1/C2F2O2/c3-1(5)2(4)6
  • C(=O)(C(=O)F)F
Sifat
C2F2O2
Massa molar 94,017 g/mol
Titik lebur −3 °C (27 °F; 270 K)
Titik didih 26,6 °C (79,9 °F; 299,8 K)
Kecuali dinyatakan lain, data di atas berlaku pada suhu dan tekanan standar (25 °C [77 °F], 100 kPa).
N verifikasi (apa ini checkYN ?)
Referensi

Oksalil fluorida adalah sebuah senyawa organofluorin dengan rumus kimia (COF)2. Senyawa ini merupakan turunan terfluorinasi dari asam oksalat. Cairan nirwarna ini dibuat melalui reaksi natrium fluorida dengan oksalil klorida.[1]

Oksail fluorida sedang diteliti untuk digunakan dalam etsa sebagai pengganti senyawa dengan potensi pemanasan global (global warming potential, GWP) tinggi.[2][3]

Lihat pula

Referensi

  1. ^ C. W. Tullock, D. D. Coffman (1960). "Synthesis of Fluorides by Metathesis with Sodium Fluoride". J. Org. Chem. 25 (11): 2016–2019. doi:10.1021/jo01081a050.
  2. ^ Method of etching and cleaning using fluorinated carbonyl compounds, US Patent 6635185.
  3. ^ Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian & Konstantin Novoselovc (2001). "Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool". J. Electrochem. Soc. 148 (3): G141 – G149. Bibcode:2001JElS..148G.141K. doi:10.1149/1.1348263.


Konten ini disalin dari wikipedia, mohon digunakan dengan bijak.

×
Advertisement